2010.12.20.
大学初、標準物質として登録―「SiC製ナノものさし」の頒布を開始

2個セットで頒布する「SiC製ナノものさし」(標準試料)

2個セットで頒布する「SiC製ナノものさし」(標準試料)

 関西学院大学は12月20日、「ナノテクノロジー用標準試料~SiC製ナノものさし~」の頒布を開始しました。

 独立行政法人製品評価技術基盤機構(NITE)所管の標準物質総合情報システム(RMinfo)に「RM:標準物質」として、大学では初めて登録されたものです。SiC単結晶ウェハに対して関西学院大学が開発した独自の超高温処理技術を適用することにより、表面全体が原子レベルで均一な高さの段差形状(0.50nm)で覆われることから、「ナノものさし」としての利用が可能になります。
 現在、市販されているシリコン(Si)製等の標準試料と比べ、腐食に対して強い耐性を持つことから、信頼性の高い標準試料(ナノものさし)としてナノテクノロジー分野における研究開発の現場で、また顕微鏡メーカー等、産業界のニーズに幅広く応えることができるものと考えています。

■本件に関する取材については、広報室(電話:0798・54・6017)まで
■本標準物質の頒布に関するお問い合わせは、研究推進社会連携機構(電話:079・565・9052)まで