極限環境先進ナノプロセス研究室

金子 忠昭 (かねこ ただあき) 教授

極限環境先進ナノプロセス研究室

研究分野:
超高温、超高真空、結晶成長、エッチング、リソグラフィー、電子線ビーム、化合物半導体
研究室サイト

電子ビームを用いた微細構造の作製など次世代高効率プロセス技術を研究しています。パワーエレクトロニクス分野では、省エネ社会を実現するうえで欠かせない次世代半導体材料SiCの開発の一環として、結晶表面に現れる原子配列を厳密に制御するためのプロセス研究を行っています。

研究室の風景