概要

■原子間力顕微鏡（AFM）の高さ校正用標準試料
■4H-SiC基板の(000-1)C面上に結晶学的に定まる高さ0.50nmの均一ステップを形成
■4H-SiC on基板（off角度0.5度未満）をSi蒸気雰囲気下1900℃でアニールすることにより
　均一ステップとテラス平坦性(サブミクロンオーダーのテラス幅)を実現
■SiC製のため酸化やコンタミ等に対して安定

仕様

◆品名 　　　　
　　　原子間力顕微鏡高さ校正用4H−SiC製標準試料
◆ステップ高さ
　　　0.50nm
◆形状 　　　
　　　5 mm × 5 mm (有効面積 中央部 3 mm × 3 mm)
◆価格
　　　216,000円（消費税込み）※専用ケースに2個入り
◆均質性 　　　
　　　試料表面のAFM観察により確認（全数検査）
◆安定性
　　　有効期限内の安定性は、AFM観察により確認
◆保存上の注意
　　　空気中浮遊粒子からの保護のため、試料はケース内に保管
◆有効期限
　　　納品後３年間（専用ケース内保存の場合）

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頒布のお申込み

◆お申し込みの際は、申し込みフォーム(下部のリンクよりダウンロード可)にご記入の上、以下のアドレスにお送り下さい。

申込先　研究推進社会連携機構
　　　　ip.renkei@kwansei.ac.jp
　
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ナノものさし頒布申し込みフォームExcel®ファイル   [ 12.55KB ]

◆頒布の際は「有体物移転契約」（ＭＴＡ）の締結をお願いします。

「ナノものさし」は研究成果有体物のため、ＭＴＡでは「研究用途における原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）の高さ校正及び装置性能の評価」として用途を特定させていただくことをご了解ください。なお、上記以外の用途を想定される場合は、事前にご相談をお願いいたします。

MTAサンプルPDFファイル   [ 132.18KB ]

お問い合わせ先

研究推進社会連携機構(知財産学連携センター)
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　　e-mail:ip.renkei@kwansei.ac.jp