SiCナノものさし[ナノテクノロジー用標準試料]

[ 編集者:研究推進社会連携機構       2015年7月28日   更新  ]
ナノものさし

概要

■原子間力顕微鏡(AFM)の高さ校正用標準試料
■4H-SiC基板の(000-1)C面上に結晶学的に定まる高さ0.50nmの均一ステップを形成
■4H-SiC on基板(off角度0.5度未満)をSi蒸気雰囲気下1900℃でアニールすることにより
 均一ステップとテラス平坦性(サブミクロンオーダーのテラス幅)を実現
■SiC製のため酸化やコンタミ等に対して安定

仕様

ナノものさし

◆品名     
   原子間力顕微鏡高さ校正用4H−SiC製標準試料
◆ステップ高さ
   0.50nm
◆形状    
   5 mm × 5 mm (有効面積 中央部 3 mm × 3 mm)
◆価格
   216,000円(消費税込み)※専用ケースに2個入り
◆均質性    
   試料表面のAFM観察により確認(全数検査)
◆安定性
   有効期限内の安定性は、AFM観察により確認
◆保存上の注意
   空気中浮遊粒子からの保護のため、試料はケース内に保管
◆有効期限
   納品後3年間(専用ケース内保存の場合)

本有体物が登録されている標準物質総合情報システム(RMinfo)はこちら外部のサイトへリンク

頒布のお申込み

◆お申し込みの際は、申し込みフォーム(下部のリンクよりダウンロード可)にご記入の上、以下のアドレスにお送り下さい。

申込先 研究推進社会連携機構
    ip.renkei@kwansei.ac.jp
 
※ご記入いただきました個人情報については、お問い合わせの返信のみに利用いたします。
 その他の用途に利用することはございません。

ナノものさし頒布申し込みフォームExcel®ファイル   [ 12.55KB ]

◆頒布の際は「有体物移転契約」(MTA)の締結をお願いします。

「ナノものさし」は研究成果有体物のため、MTAでは「研究用途における原子間力顕微鏡(AFM)の高さ校正及び装置性能の評価」として用途を特定させていただくことをご了解ください。なお、上記以外の用途を想定される場合は、事前にご相談をお願いいたします。

MTAサンプルPDFファイル   [ 132.18KB ]

お問い合わせ先

研究推進社会連携機構(知財産学連携センター)
  TEL:079-565-9052 
  FAX:079-565-7910
  e-mail:ip.renkei@kwansei.ac.jp